高溫低溫高度試驗箱在微電子的低氣壓試驗

高溫低溫高度試驗箱可以用于微電子器件的高空工作試驗，通過(guò)低氣壓試驗，可以檢測微電子在低氣壓環(huán)境下，由于空氣和其他絕緣材料的絕緣強度減弱抗電擊穿失效的能力。

微電子低氣壓試驗：

試驗設備：高溫低溫高度試驗箱（高低溫低氣壓試驗箱）

設備型號：環(huán)儀儀器 HYLA-1000

測試標準：GJB548B-2005 微電子器件試驗方法和程序

配套設備：真空泵、壓力表、示波器等

試驗步驟：

1. 樣品應按規定安放在密封室內，除另有規定外，以不大于10kPa/min 的降壓速率將試驗箱內氣壓降到有關(guān)標準規定的值。把樣品保持在規定的壓力下，對它們進(jìn)行規定的試驗。

2. 在試驗期間及試驗前的20min內，試驗溫度應為25℃±10℃。

3. 連接器件，進(jìn)行測量，并且在整個(gè)抽氣過(guò)程中施加規定的電壓。

4. 用微安表或示波器監視施加最大電壓的器件引出端，從直流到30MHz范圍內看其是否出現電暈放電電流或進(jìn)行其他規定的性能測試。

5. 對器件施加規定的電壓，在從常壓到規定的最低氣壓并恢復到常壓的整個(gè)過(guò)程中監測器件是否出現故障。器件如出現飛弧、有害的電暈或其他任何影響器件工作的缺陷或退化，都應視為失效。

如對此試驗有疑問(wèn)的，可以咨詢(xún)“環(huán)儀儀器”，獲取專(zhuān)業(yè)人員的技術(shù)支持。