《GB/T 4937.13-2018 半導體器件 機械和氣候試驗方法 第13部分:鹽霧》是中國國家標準化委員會(huì )發(fā)布的標準,用于評估半導體器件在鹽霧環(huán)境下的耐蝕性和可靠性。該標準規定了鹽霧試驗的方法和要求。
一、范圍:
GB/T 4937的本部分規定了半導體器件的鹽霧試驗方法,以確定半導體器件耐腐蝕的能力。本試驗是模擬嚴酷的海邊大氣對器件暴露表面影響的加速試驗。適用于工作在海上和沿海地區的器件。
本試驗是破壞性試驗。
本試驗總體上符合IEC 60068-2-11,但鑒于半導體器件的特殊要求,采用本部分的條款。
二、試驗項目:
鹽霧試驗。
三、試驗設備:
鹽霧試驗箱。
四、設備廠(chǎng)商:
環(huán)儀儀器
五、試驗程序(部分):
按要求預處理之后,試驗樣品應按如下方式放置在試驗箱里,使它們彼此不接觸,彼此不斌擋,能自由地接受鹽霧作用,腐蝕生成物和凝聚物不會(huì )從一個(gè)樣品滴落在另一個(gè)樣品上。試驗箱中噴霧的保持時(shí)間應按4.2試驗條件的要求執行。
試驗期間,試驗箱內的溫度應保持在(35±2)℃,鹽霧的濃度和噴出速度應調節到使試驗區域內鹽沉降率為(30±10)g/(㎡?d)。在不低于35℃測量時(shí),鹽溶液的pH值應在6.0~7.5之間[只能用化學(xué)純(CP級)的鹽酸或氫氧化鈉(稀溶液)來(lái)調整pH值]。
《GB/T 4937.13-2018》標準規定了試驗裝置、試驗樣品的選擇和準備、試驗條件、試驗過(guò)程和評定方法等方面的要求。通過(guò)該標準進(jìn)行的鹽霧試驗可以幫助制造商和使用者了解半導體器件在鹽霧環(huán)境下的可靠性表現,指導產(chǎn)品設計和改進(jìn)工藝。