GB/T 38341-2019 是中國國家標準，標題為《微機電系統（MEMS）技術(shù) MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法》（Micro-electromechanical systems (MEMS) - Test method for comprehensive environmental reliability of MEMS devices）。
該標準規定了微機電系統（MEMS）器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法，旨在評估MEMS器件在不同環(huán)境條件下的可靠性和性能。MEMS技術(shù)涉及微小機械系統、微電子器件以及傳感器等領(lǐng)域，這些器件在各種應用中都具有重要作用。
一、范圍：
本標準規定了MEMS器件可靠性綜合環(huán)境的試驗方法和失效結果處理。
本標準適用于需要進(jìn)行可靠性試驗的MEMS器件。
二、試驗項目：
高低溫試驗、溫度循環(huán)試驗、濕熱試驗、高壓濕熱試驗、沖擊試驗、振動(dòng)試驗等。
三、試驗設備：
恒溫恒濕試驗箱、PCT加速老化試驗箱、沖擊試驗臺、振動(dòng)試驗臺等。
四、設備廠(chǎng)商：
環(huán)儀儀器
.jpg "《GB/T 38341-2019 微機電系統（MEMS）技術(shù) MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法》標準(圖1)")
五、試驗程序（部分）：
高壓濕熱試驗：
概述
由于 MEMS器件的工藝、結構和封裝特點(diǎn)，其在溫度﹑濕度作用下可能會(huì )出現諸如粘附、大應力等可靠性問(wèn)題。將處于不帶電工作狀態(tài)的待測器件放置于規定的溫度，濕度、壓力環(huán)境中可以極大地加速溫度﹑濕度的作用。本試驗是比恒定濕熱加速試驗(見(jiàn)4.2.5)更快的加速方案。
目的
本試驗在器件不帶電工作的情況下確定MEMS器件在溫度、濕度環(huán)境下的可靠性。
設備
試驗設備包括一臺能工作在規定溫度、濕度、氣壓下工作的加壓溫濕度試驗箱和4.2.6.4.4中的相關(guān)設備。
試驗條件和試驗時(shí)間
表7規定了最低試驗溫度、濕度、壓力、在加壓溫濕度試驗箱中所有的待測器件均應達到該溫度﹑濕度，若無(wú)其他規定，試驗時(shí)間應不小于12 h。宜采用試驗條件A。
樣品檢驗的準備工作
試驗后器件在標準環(huán)境中自然散熱和散濕2 h~48 h，一般濕度試驗應在48 h內完成測試，如需延
長(cháng)放置時(shí)間，應將樣品保存在密封袋中，可以延長(cháng)至96 h，然后在標準試驗條件下進(jìn)行測試。
通過(guò)遵循 GB/T 38341-2019 標準，MEMS器件制造商和相關(guān)研究機構可以進(jìn)行全面的環(huán)境試驗，以驗證這些器件在不同環(huán)境條件下的性能和可靠性。這有助于提高M(jìn)EMS器件在各種應用中的穩定性和耐久性，確保它們能夠在復雜的環(huán)境中正常工作。
